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專利資訊
測量離子束角度之方法
維瑞安半導體設備公司
申請案號
092125450
公告號
200407985
申請日期
2003-09-16
申請人
維瑞安半導體設備公司
發明人
葛蘭特 凱基 拉森
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/265
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