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用於在靜電晶圓箝位保留冷卻氣體之電極結構

維瑞安半導體設備公司

申請案號
092125451
公告號
200406021
申請日期
2003-09-16
申請人
維瑞安半導體設備公司
發明人
葛蘭特　凱基　拉森
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/02
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用於在靜電晶圓箝位保留冷卻氣體之電極結構 - 專利資訊 | NowTo 智財通