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專利資訊
潔淨室及其搬送裝置
台灣積體電路製造股份有限公司
申請案號
092125578
公告號
200513172
申請日期
2003-09-17
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
邱健成
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H05K9/00
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