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專利資訊
在多步驟程序中之金屬殘留物的偵測與映射用之系統及方法
蘭姆研究公司
申請案號
092125755
公告號
200408033
申請日期
2003-09-18
申請人
蘭姆研究公司
發明人
葉海 高金斯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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