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電子射線照射裝置、電子射線照射方法、碟片狀體之製造裝置及碟片狀體之製造方法

ＴＤＫ股份有限公司

申請案號
092125763
公告號
200421013
申請日期
2003-09-18
申請人
ＴＤＫ股份有限公司
發明人
田中和志
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

G03F7/00
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