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專利資訊
具有低度顆粒產生之靜電卡盤及其製造方法
應用材料股份有限公司
申請案號
092125829
公告號
200404646
申請日期
2003-09-18
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
包伊德二世溫德爾G
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
B24B7/24
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