IP

具有低度顆粒產生之靜電卡盤及其製造方法

應用材料股份有限公司

申請案號
092125829
公告號
200404646
申請日期
2003-09-18
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
包伊德二世溫德爾G
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

本站使用 Cookie 進行流量分析,以提供更好的使用體驗。

具有低度顆粒產生之靜電卡盤及其製造方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通