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專利資訊
研磨墊與其製造方法以及研磨晶圓的方法
智勝科技股份有限公司
申請案號
092126142
公告號
200512819
申請日期
2003-09-23
申請人
智勝科技股份有限公司
發明人
施文昌
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/304
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