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專利資訊
光罩之設計方法、圖案預測方法及記錄媒體
東芝股份有限公司
申請案號
092126342
公告號
200408913
申請日期
2003-09-24
申請人
東芝股份有限公司
發明人
福原和也
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/207
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