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專利資訊
電漿處理之電極系統
暉盛科技股份有限公司
申請案號
092126576
公告號
200512784
申請日期
2003-09-26
申請人
暉盛科技股份有限公司
發明人
宋俊毅
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01J37/04
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