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專利資訊
基板檢測裝置之可調式平台
DE&T股份有限公司
申請案號
092127110
公告號
200503142
申請日期
2003-09-30
申請人
DE&T股份有限公司
發明人
沈在信
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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