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專利資訊
膜厚改變之控制方法及其控制系統
台灣積體電路製造股份有限公司
申請案號
092127271
公告號
200501233
申請日期
2003-10-02
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
歐陽暉
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/20
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