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專利資訊
薄膜形成方法及其裝置
石川島播磨重工業股份有限公司
申請案號
092127496
公告號
200413563
申請日期
2003-10-03
申請人
石川島播磨重工業股份有限公司
發明人
上田仁
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23C16/509
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