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專利資訊
形成金屬矽化物的方法
台灣積體電路製造股份有限公司
申請案號
092128377
公告號
200501247
申請日期
2003-10-14
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
杜安群
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/28
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