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專利資訊
多晶矽結晶的控制方法
財團法人工業技術研究院
申請案號
092128469
公告號
200514140
申請日期
2003-10-14
申請人
財團法人工業技術研究院
發明人
林家興
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/20
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