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專利資訊
在光學石版曝光時,冷卻標度線之方法以及裝置
ASML控股公司
申請案號
092128737
公告號
200502674
申請日期
2003-10-16
申請人
ASML控股公司
發明人
聖提亞哥 普爾托
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/20
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