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專利資訊
改進光阻塗佈的方法
台灣積體電路製造股份有限公司
申請案號
092128815
公告號
200422780
申請日期
2003-10-17
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
鄭樹仁
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/16
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