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薄膜之電漿蝕刻時之端點偵測方法和裝置

泛林股份有限公司

申請案號
092129453
公告號
200415767
申請日期
2003-10-23
申請人
泛林股份有限公司
發明人
布萊恩 麥克米林
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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