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快速熱處理（ＲＴＰ）系統之排氣壓力控制方法

中芯國際集成電路製造（上海）有限公司

申請案號
092129786
公告號
200515484
申請日期
2003-10-27
申請人
中芯國際集成電路製造（上海）有限公司
發明人
陳騰宏
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/20
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快速熱處理（ＲＴＰ）系統之排氣壓力控制方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通