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使用第８族（ＶＩＩＩ）二茂金屬前驅物的沉積方法

普雷瑟科技股份有限公司

申請案號
092130099
公告號
200420745
申請日期
2003-10-29
申請人
普雷瑟科技股份有限公司
發明人
大衛　湯普森
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

C23C16/08
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使用第８族（ＶＩＩＩ）二茂金屬前驅物的沉積方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通