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專利資訊
用於蝕刻介電材料之方法
藍姆研究公司
申請案號
092130263
公告號
200416304
申請日期
2003-10-30
申請人
藍姆研究公司
發明人
艾瑞克H 蘭姿
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23F1/00
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