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專利資訊
晶圓容器清潔系統
應用材料股份有限公司
申請案號
092130471
公告號
200414941
申請日期
2003-10-31
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
克特 杜拉查克
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
B08B9/08
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