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專利資訊
測試型樣,檢驗方法及元件製造方法
ASML荷蘭公司
申請案號
092130516
公告號
200424786
申請日期
2003-10-31
申請人
ASML荷蘭公司
發明人
阿里 捷弗烈 丹 包夫
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/20
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