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光阻用高分子化合物及光阻用樹脂組成物

泰舍爾化學工業股份有限公司

申請案號
092130615
公告號
200415440
申請日期
2003-11-03
申請人
泰舍爾化學工業股份有限公司
發明人
西村政通
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

G03F7/004
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光阻用高分子化合物及光阻用樹脂組成物 - 專利資訊 | NowTo 智財通