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專利資訊
經二次植入而於基板中形成脆弱區域之方法
原子能委員會
申請案號
092130631
公告號
200414320
申請日期
2003-11-03
申請人
原子能委員會
發明人
伯納德阿斯帕
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/265
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