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精確控制離子佈值濃度之方法及同步控制壓力補償因子之方法

茂德科技股份有限公司

申請案號
092130762
公告號
200516650
申請日期
2003-11-04
申請人
茂德科技股份有限公司
發明人
許恆凱
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/265
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