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專利資訊
改善相位移光罩造成線寬不一致的方法
旺宏電子股份有限公司
申請案號
092131007
公告號
200516351
申請日期
2003-11-05
申請人
旺宏電子股份有限公司
發明人
吳宗顯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/20
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