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專利資訊
電蝕刻系統及方法
ASM努突爾股份有限公司
申請案號
092131492
公告號
200418101
申請日期
2003-11-11
申請人
ASM努突爾股份有限公司
發明人
哈馬洋 達理
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/304
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