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積層膜之複合濕式蝕刻方法及使用於該方法之濕式蝕刻系統

ＮＬＴ科技股份有限公司

申請案號
092131497
公告號
200411084
申請日期
2003-11-11
申請人
ＮＬＴ科技股份有限公司
發明人
上杉忠宣
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

C23F1/00
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