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專利資訊
利用坩堝旋轉控制溫度梯度以製備單晶矽之方法
MEMC電子材料公司
申請案號
092131558
公告號
200426255
申請日期
2003-11-11
申請人
MEMC電子材料公司
發明人
盧強
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C30B13/28
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