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專利資訊
經由發光源最佳化來提供透鏡偏差補償之方法與裝置
ASML荷蘭公司
申請案號
092131671
公告號
200416414
申請日期
2003-11-12
申請人
ASML荷蘭公司
發明人
阿明 萊博晨
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G02B27/00
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