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專利資訊
電漿處理裝置
安內華股份有限公司
申請案號
092131809
公告號
200409827
申請日期
2003-11-13
申請人
安內華股份有限公司
發明人
長田智明
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23C14/56
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