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於微影工具中將光源氣體與主室氣體隔離之方法與設備

ＡＳＭＬ控股公司

申請案號
092132161
公告號
200411341
申請日期
2003-11-17
申請人
ＡＳＭＬ控股公司
發明人
史帝芬　洛克斯
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

G03F7/20
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