IP

利用水溶性負型光阻形成光阻圖案的方法

台灣積體電路製造股份有限公司

申請案號
092132343
公告號
200426501
申請日期
2003-11-18
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
何邦慶
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

本站使用 Cookie 進行流量分析,以提供更好的使用體驗。

利用水溶性負型光阻形成光阻圖案的方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通