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專利資訊
利用水溶性負型光阻形成光阻圖案的方法
台灣積體電路製造股份有限公司
申請案號
092132343
公告號
200426501
申請日期
2003-11-18
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
何邦慶
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/004
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