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具單匝射頻（ＲＦ）平板線圈之電感耦合電漿系統

聚昌科技股份有限公司

申請案號
092132718
公告號
200518639
申請日期
2003-11-21
申請人
聚昌科技股份有限公司
發明人
胡正中
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H05H1/00
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具單匝射頻（ＲＦ）平板線圈之電感耦合電漿系統 - 專利資訊 | NowTo 智財通