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用於改善膜層平坦度之虛設圖案的佈局方法

台灣積體電路製造股份有限公司

申請案號
092132806
公告號
200517893
申請日期
2003-11-21
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
董易諭
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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