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專利資訊
以大氣壓力電漿處理基底表面之裝置
希姆科技有限公司
申請案號
092132938
公告號
200414577
申請日期
2003-11-24
申請人
希姆科技有限公司
發明人
李學柱
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L49/00
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