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專利資訊
有機物系之抗反射組合物及以該組合物進行圖案化之方法
東進世美肯股份有限公司
申請案號
092133101
公告號
200413850
申請日期
2003-11-25
申請人
東進世美肯股份有限公司
發明人
金宰賢
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/032
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