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專利資訊
基板處理裝置
華祥股份有限公司
申請案號
092133272
公告號
200415741
申請日期
2003-11-27
申請人
華祥股份有限公司
發明人
大霜努
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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