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於折反射微影系統中維持未迴轉（非鏡射）影像的分光器光學件設計

ＡＳＭＬ控股公司

申請案號
092133408
公告號
200410054
申請日期
2003-11-27
申請人
ＡＳＭＬ控股公司
發明人
海瑞　希威爾
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

G03F7/20
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於折反射微影系統中維持未迴轉（非鏡射）影像的分光器光學件設計 - 專利資訊 | NowTo 智財通