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專利資訊
電漿摻雜方法
松下電器產業股份有限公司
申請案號
092133563
公告號
200415668
申請日期
2003-11-28
申請人
松下電器產業股份有限公司
發明人
佐佐木雄一朗
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/265
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