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專利資訊
光阻用(甲基)丙烯酸衍生物聚合物之製造方法
東京應化工業股份有限公司
申請案號
092133617
公告號
200420579
申請日期
2003-11-28
申請人
東京應化工業股份有限公司
發明人
久保田尚孝
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C08F20/18
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