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專利資訊
遠紫外線(EUV)輻射之氣體放電燈
皇家飛利浦電子股份有限公司
申請案號
092133834
公告號
200503045
申請日期
2003-12-02
申請人
皇家飛利浦電子股份有限公司
發明人
岡司樂 漢斯 德拉
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01J61/09
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