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專利資訊
與低K值介電材料一起使用之抗反射塗層組成物
部魯爾科學公司
申請案號
092133994
公告號
200419304
申請日期
2003-12-03
申請人
部魯爾科學公司
發明人
拉瑪 普利加達
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/00
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