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低介電常數材料以及化學氣相沈積（ＣＶＤ）製備方法

氣體產品及化學品股份公司

申請案號
092134625
公告號
200409738
申請日期
2003-12-08
申請人
氣體產品及化學品股份公司
發明人
馬克　李納德　歐尼爾
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

C03C3/062
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低介電常數材料以及化學氣相沈積（ＣＶＤ）製備方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通