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專利資訊
在一層上照射光點之方法及裝置的液態去除
ASML荷蘭公司
申請案號
092134869
公告號
200423118
申請日期
2003-12-10
申請人
ASML荷蘭公司
發明人
海瑪 凡 山頓
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G11B7/26
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