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專利資訊
應用於處理狀態監視及終點偵測的斜率對臨限值轉換方法與設備
蘭姆研究公司
申請案號
092134960
公告號
200414396
申請日期
2003-12-11
申請人
蘭姆研究公司
發明人
葉海 高金斯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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