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專利資訊
量測物體厚度之方法及裝置
應用材料股份有限公司
申請案號
092135022
公告號
200415340
申請日期
2003-12-11
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
勞倫斯C 賴
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G01B7/02
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