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專利資訊
圓極化微波橢圓球電漿源構造及其電漿產生方法
國家中山科學研究院
申請案號
092135662
公告號
200522799
申請日期
2003-12-16
申請人
國家中山科學研究院
發明人
戴涪
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H05H1/00
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