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專利資訊
高分辨率氣量計式接近感測器
ASML控股公司
申請案號
092135861
公告號
200422585
申請日期
2003-12-17
申請人
ASML控股公司
發明人
包格斯洛 佳德茲科
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G01B13/00
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