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微影投影遮罩，使用微影投影遮罩之元件製造方法及其所製造之元件

ＡＳＭＬ荷蘭公司

申請案號
092135991
公告號
200424812
申請日期
2003-12-18
申請人
ＡＳＭＬ荷蘭公司
發明人
凱斯　芙蘭克　畢斯特
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

G03F9/00
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微影投影遮罩，使用微影投影遮罩之元件製造方法及其所製造之元件 - 專利資訊 | NowTo 智財通